在單獨襯底上具有外部諧振器的垂直發(fā)射光泵浦半導(dǎo)體專利登記公告

專利名稱：在單獨襯底上具有外部諧振器的垂直發(fā)射光泵浦半導(dǎo)體

摘要：本發(fā)明說明了一種用于制造可光泵浦的半導(dǎo)體裝置(1)的方法，其包括以下步驟：提供包括復(fù)數(shù)個單支承體區(qū)域(34)的支承體復(fù)合結(jié)構(gòu)(80)，這些單支承體區(qū)域機械上彼此固定相連，將諧振腔反射器(31)設(shè)置到單支承體區(qū)域上，以及制成各諧振器附件(40)，提供包括復(fù)數(shù)個連接支承體(14)的連接支承體復(fù)合結(jié)構(gòu)(50)，這些連接支承體機械上彼此固定相連，在連接支承體復(fù)合結(jié)構(gòu)(50)的連接支承體(14)上設(shè)置表面發(fā)射的半導(dǎo)體本體(1)，以及在連接支承體(14)上設(shè)置諧振器附件(40)。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201210082842.7

專利申請（專利權(quán)）人：奧斯蘭姆奧普托半導(dǎo)體有限責(zé)任公司

專利發(fā)明（設(shè)計）人：烏爾里克·斯蒂格馬勒;弗蘭克·辛格;托馬斯·施瓦茨;羅朗德·舒爾茨

主權(quán)項：一種用于制造可光泵浦的半導(dǎo)體裝置的方法，其包括以下步驟：?提供包括復(fù)數(shù)個單支承體區(qū)域(34)的支承體復(fù)合結(jié)構(gòu)(80)，這些單支承體區(qū)域機械上彼此固定相連，?將諧振腔反射器(31)設(shè)置到單支承體區(qū)域上，?制成各諧振器附件(40)，?提供包括復(fù)數(shù)個連接支承體(14)的連接支承體復(fù)合結(jié)構(gòu)(50)，這些連接支承體機械上彼此固定相連，?在連接支承體復(fù)合結(jié)構(gòu)(50)的連接支承體(14)上設(shè)置表面發(fā)射的半導(dǎo)體本體(1)，以及?在連接支承體(14)上設(shè)置諧振器附件(40)。

專利地區(qū)：德國