應力減小的SOS基板專利登記公告

專利名稱：應力減小的SOS基板

摘要：提供一種應力減小的SOS基板。該SOS基板是包括藍寶石基板和在該藍寶石基板上或上方的單晶硅膜的藍寶石上硅(SOS)基板。在該SOS基板的整個平面區(qū)域上，通過拉曼位移方法測得的該SOS基板的硅膜的應力為2.5×108Pa或更小。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080059990.6

專利申請（專利權）人：信越化學工業(yè)株式會社

專利發(fā)明（設計）人：秋山昌次

主權項：一種藍寶石上硅(SOS)基板，包括藍寶石基板和在所述藍寶石基板上或上方的單晶硅膜，其中在所述SOS基板的整個平面區(qū)域上，通過拉曼位移方法測得的硅膜的應力具有2.5×108Pa或更小的絕對值。

專利地區(qū)：日本