直線淀積源專利登記公告

專利名稱：直線淀積源

摘要：一種淀積源，所述淀積源包括用來包含淀積材料的至少一個坩鍋。本體包括傳導(dǎo)通道，傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到坩鍋的輸出部上。加熱器升高坩鍋的溫度，使得坩鍋將淀積材料蒸發(fā)到傳導(dǎo)通道中。多個噴嘴聯(lián)接到所述傳導(dǎo)通道的輸出部上，使得被蒸發(fā)的淀積材料從坩鍋通過傳導(dǎo)通道運輸?shù)蕉鄠€噴嘴，從而，被蒸發(fā)的淀積材料從多個噴嘴排出以形成淀積通量，多個噴嘴中的至少一個噴嘴包括管子，所述管子定位成靠近傳導(dǎo)通道，從而所述管子限制供給到包括所述管子的噴嘴的淀積材料的量。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080059907.5

專利申請（專利權(quán)）人：維易科精密儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司

專利發(fā)明（設(shè)計）人：C·康羅伊;S·W·普里迪;J·A·達(dá)爾斯特倫;R·布雷斯納漢;D·W·戈特霍德;J·帕特林

主權(quán)項：一種淀積源，該淀積源包括：a）坩鍋，所述坩鍋用來包含淀積材料；b）本體，所述本體包括傳導(dǎo)通道，所述傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到所述坩鍋的輸出部上；c）加熱器，所述加熱器定位成與所述坩鍋以及所述傳導(dǎo)通道熱連通，所述加熱器升高所述坩鍋的溫度，使得所述坩鍋將所述淀積材料蒸發(fā)到所述傳導(dǎo)通道中；以及d）多個噴嘴，所述多個噴嘴中的每一個噴嘴的輸入部聯(lián)接到所述傳導(dǎo)通道的輸出部上，使得被蒸發(fā)的淀積材料從所述坩鍋通過所述傳導(dǎo)通道運輸?shù)剿龆鄠€噴嘴，從而，被蒸發(fā)的淀積材料從所述多個噴嘴排出，以形成淀積通量，所述多個噴嘴中的至少一個

專利地區(qū)：美國