襯底支承體專利登記公告

專利名稱：襯底支承體

摘要：本發(fā)明涉及一種用于對待處理的襯底或晶片進行容納并且輸送進入或穿過處理設備的襯底支承體。借助本發(fā)明要建立一種襯底支承體，其可以盡可能通用地使用或者說對于具體任務可簡單輕松地匹配，并且節(jié)約材料。這通過如下方式達到：在由縱向支承體和橫向支承體（2、3）構(gòu)成的框架（1）內(nèi)，彼此格柵式地交叉地布置有多個縱向接片和橫向接片（4、5），從而形成基本格柵用以直接或間接容納襯底。不僅縱向支承體和橫向支承體（2、3）而且縱向接片和橫向接片（4、5）都形狀配合地彼此連接。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080055533.X

專利申請（專利權(quán)）人：KGT石墨科技有限公司

專利發(fā)明（設計）人：托爾斯滕·科恩邁爾

主權(quán)項：用于對待處理的襯底或晶片進行容納并且輸送到處理設備中或輸送通過處理設備的襯底支承體，其特征在于，在由縱向支承體和橫向支承體（2、3）構(gòu)成的框架（1）內(nèi)多個縱向接片和橫向接片（4、5）彼此格柵式交叉地布置并且相互連接，從而形成基本格柵用于直接或間接容納襯底。

專利地區(qū)：德國