具有橫向穩(wěn)定機(jī)構(gòu)的浮動(dòng)式晶片軌道專(zhuān)利登記公告

專(zhuān)利名稱(chēng)：具有橫向穩(wěn)定機(jī)構(gòu)的浮動(dòng)式晶片軌道

摘要：一種裝置(100)，包括：處理隧道(102)，包括下隧道壁(120)、上隧道壁(130)、以及兩個(gè)橫向隧道壁(108)，其中所述隧道壁一起界定在傳輸方向(T)中延伸的處理隧道空間(104)；在上和下隧道壁中均提供的多個(gè)氣體注入通道(122、132)，其中下隧道壁中的氣體注入通道被設(shè)置為提供下氣體軸承(124)，而上隧道壁中的氣體注入通道被設(shè)置為提供上氣體軸承(134)，所述氣體軸承被設(shè)置為浮動(dòng)地支承并容納所述襯底位于其之間；且提供在兩個(gè)所述橫向隧道壁(108)中的多個(gè)排氣通道(110)，其中每一個(gè)橫向壁中

專(zhuān)利類(lèi)型：發(fā)明專(zhuān)利

專(zhuān)利號(hào)：CN201080053184.8

專(zhuān)利申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：磊威技術(shù)有限公司

專(zhuān)利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：E·H·A·格蘭尼曼

主權(quán)項(xiàng)：一種襯底處理裝置(100)，包括：?處理隧道(102)，所述處理隧道包括下隧道壁(120)、上隧道壁(130)、以及兩個(gè)橫向隧道壁(108)，其中所述隧道壁一起界定在傳輸方向(T)中延伸的處理隧道空間(104)且所述隧道壁被設(shè)置為容納被取向?yàn)榕c所述上和下隧道壁平行的至少一個(gè)基本平面的襯底(140)；?在所述上和下隧道壁中都提供的多個(gè)氣體注入通道(122、132)，其中所述下隧道壁中的氣體注入通道被設(shè)置為提供下氣體軸承(124)，而上所述隧道壁中的氣體注入通道被設(shè)置為提供上氣體軸承(134)，所述氣體軸承被

專(zhuān)利地區(qū)：荷蘭