用于等離子體發(fā)生器的可控制諧波的射頻系統(tǒng)專利登記公告

專利名稱：用于等離子體發(fā)生器的可控制諧波的射頻系統(tǒng)

摘要：本發(fā)明涉及一種用于等離子體發(fā)生器的可控制諧波的射頻系統(tǒng)，包含提供生成所述等離子體的射頻能量的第一射頻源，以及連接在所述第一射頻源與所述驅(qū)動電極之間的匹配盒，其通過設置的匹配電路，使所述反應腔內(nèi)等離子體的負載阻抗與所述第一射頻源的輸出阻抗相匹配；本發(fā)明的特點是，在所述匹配盒中還設置有諧波控制裝置，其產(chǎn)生一阻抗值可調(diào)的調(diào)諧阻抗，來調(diào)整第一射頻源的諧波阻抗，從而抑制該第一射頻源的諧波電流，使基片表面的等離子體能均勻分布；或者，諧波控制裝置通過使其輸出的調(diào)諧阻抗在高阻抗至低阻抗之間可調(diào)，來控制諧波電流的大小，并在

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201110064745.0

專利申請（專利權）人：中微半導體設備（上海）有限公司

專利發(fā)明（設計）人：歐陽亮;錢學明;劉磊;陳金元;倪圖強;杜志游;尹志堯

主權項：一種用于等離子體發(fā)生器的可控制諧波的射頻系統(tǒng)，向驅(qū)動電極施加射頻能量，在等離子體發(fā)生器的真空反應腔（30）內(nèi)，形成反應氣體（60）的等離子體（50）對基片（40）進行處理，其中，所述射頻系統(tǒng)包含：第一射頻源（11），其提供生成所述等離子體（50）的射頻能量；匹配盒（20），其連接在所述第一射頻源（11）與所述驅(qū)動電極之間，其中設置有匹配電路，使所述反應腔（30）內(nèi)等離子體（50）的負載阻抗與所述第一射頻源（11）的輸出阻抗相匹配，其特征在于：所述匹配盒（20）中還設置有諧波控制裝置（21），與所述第一射頻

專利地區(qū)：上海