基板用涂布裝置及基板涂布方法專(zhuān)利登記公告

專(zhuān)利名稱(chēng)：基板用涂布裝置及基板涂布方法

摘要：基板用涂布裝置(10)具有：精密載物臺(tái)(7)、噴嘴(8)、傳送帶(3~6、21)。精密載物臺(tái)(7)水平設(shè)置有放置基板W的放置面，沿著傳送方向在上游端和下游端之間自由往返移動(dòng)。傳送帶(3~6、21)以基板W的表面位于水平面內(nèi)的方式沿著規(guī)定的傳送方向經(jīng)由精密載物臺(tái)(7)的放置面?zhèn)魉突錡。中間傳送帶(21)在傳送面與載物臺(tái)的放置面一致的傳送位置、和傳送面比載物臺(tái)的放置面靠下方的非傳送位置之間自由升降。

專(zhuān)利類(lèi)型：發(fā)明專(zhuān)利

專(zhuān)利號(hào)：CN201080059809.1

專(zhuān)利申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：龍?jiān)浦晔綍?huì)社

專(zhuān)利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：田邊雅明;平田英生;織田光德

主權(quán)項(xiàng)：一種基板用涂布裝置，具有：載物臺(tái)，水平設(shè)置有放置基板的放置面，沿著傳送方向在規(guī)定范圍內(nèi)自由往返移動(dòng)；噴嘴，具有向下方噴出涂布液的狹縫，該狹縫與上述傳送方向正交；傳送帶，以基板的表面位于水平面內(nèi)的方式沿著上述傳送方向經(jīng)由上述放置面?zhèn)魉突?，該傳送帶的至少上述?guī)定范圍的長(zhǎng)度的中間部自由升降；載物臺(tái)移動(dòng)單元，使上述載物臺(tái)在上述規(guī)定范圍內(nèi)的上游端和下游端之間往返移動(dòng)；傳送帶升降單元，使上述傳送帶的中間部在傳送面與上述放置面一致的傳送位置、和傳送面比上述放置面靠下方的非傳送位置之間升降；和控制部，構(gòu)成為控制上述載物

專(zhuān)利地區(qū)：日本