等離子體點(diǎn)火裝置，等離子體點(diǎn)火方法及等離子體發(fā)生裝置專利登記公告

專利名稱：等離子體點(diǎn)火裝置，等離子體點(diǎn)火方法及等離子體發(fā)生裝置

摘要：本發(fā)明的課題在于，提供不需要監(jiān)視或不需要手工動(dòng)作、能容易且確實(shí)地進(jìn)行等離子體點(diǎn)火或再點(diǎn)火的等離子體點(diǎn)火技術(shù)。本發(fā)明的解決手段在于，等離子體點(diǎn)火裝置包括：高頻電源裝置(101)，向用于使得發(fā)生等離子體的負(fù)載電極(114)供給所定的高頻信號(hào)(HS)；匹配裝置(105)，使得高頻電源裝置側(cè)和負(fù)載電極側(cè)的阻抗匹配；前進(jìn)波/反射波檢測(cè)裝置(102)，檢測(cè)高頻信號(hào)(HS)的前進(jìn)波及反射波；高壓發(fā)生裝置(103)，發(fā)生所定的高壓(HV)；以及控制裝置(100)，當(dāng)反射波相對(duì)前進(jìn)波的比率比第一閾值大場(chǎng)合，將高壓HV疊加在

專利類型：發(fā)明專利

專利號(hào)：CN201080055528.9

專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：株式會(huì)社新川

專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：歌野哲彌;前田徹;高平淳一;浜島正典

主權(quán)項(xiàng)：一種等離子體點(diǎn)火裝置，其特征在于，包括：高頻電源裝置，向使得發(fā)生等離子體的負(fù)載電極供給所定的高頻信號(hào)；匹配裝置，使得上述高頻電源裝置側(cè)和上述負(fù)載電極側(cè)的阻抗匹配；前進(jìn)波/反射波檢測(cè)裝置，檢測(cè)上述高頻信號(hào)的前進(jìn)波及反射波；高壓發(fā)生裝置，發(fā)生所定的高壓；以及控制裝置，當(dāng)上述反射波相對(duì)上述前進(jìn)波的比率比第一閾值大場(chǎng)合，將上述高壓疊加在上述高頻信號(hào)上。

專利地區(qū)：日本