光學(xué)成像寫入系統(tǒng)專利登記公告

專利名稱：光學(xué)成像寫入系統(tǒng)

摘要：本發(fā)明揭露一種在光刻制程中處理相鄰成像區(qū)之間的影像數(shù)據(jù)的系統(tǒng)及方法。在一實(shí)施例中，該方法包含：提供一個具有復(fù)數(shù)個空間光調(diào)制器(SLM)成像單元的平行成像寫入系統(tǒng)，其中該SLM成像單元排列成一個或多個平行陣列；接收一個待寫入基板的光掩膜數(shù)據(jù)圖案；處理該光掩膜數(shù)據(jù)圖案，以形成復(fù)數(shù)個對應(yīng)于基板不同區(qū)域的分區(qū)光掩膜數(shù)據(jù)圖案；辨識出相鄰SLM成像單元其相鄰成像區(qū)之間的重疊區(qū)域；根據(jù)一組預(yù)設(shè)的成本函數(shù)，決定一個用以合并該重疊區(qū)域內(nèi)相鄰成像區(qū)的接合路徑；以及控制該SLM成像單元，以利用該接合路徑，將該分區(qū)光掩膜數(shù)據(jù)圖案

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080054347.4

專利申請（專利權(quán)）人：派因布魯克成像系統(tǒng)公司

專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：T·萊迪格

主權(quán)項(xiàng)：一種在光刻制程中處理相鄰成像區(qū)之間的影像數(shù)據(jù)的方法，包含下列步驟：提供一個平行成像寫入系統(tǒng)，其中該平行成像寫入系統(tǒng)包含復(fù)數(shù)個空間光調(diào)制器(SLM)成像單元，且該SLM成像單元排列成一個或多個平行陣列；接收一個待寫入基板的光掩膜數(shù)據(jù)圖案；處理該光掩膜數(shù)據(jù)圖案，以形成復(fù)數(shù)個對應(yīng)于該基板不同區(qū)域的分區(qū)光掩膜數(shù)據(jù)圖案；辨識出相鄰SLM成像單元其相鄰成像區(qū)之間的重疊區(qū)域；根據(jù)一組預(yù)設(shè)的成本函數(shù)決定一個接合路徑，藉以合并該重疊區(qū)域內(nèi)的相鄰成像區(qū)；及控制該SLM成像單元，以利用該接合路徑將該分區(qū)光掩膜數(shù)據(jù)圖案平行寫入該

專利地區(qū)：美國