CVD裝置專(zhuān)利登記公告

專(zhuān)利名稱(chēng)：CVD裝置

摘要：一種用于在載體上沉積材料的制造裝置和一種與制造裝置一起使用的電極。制造裝置包括限定腔室的外殼。外殼還限定用于將氣體引入腔室的入口和用于將氣體從腔室排出的出口。至少一個(gè)電極被布置穿過(guò)腔室且該電極至少部分地被布置于腔室內(nèi)。電極包括具有第一端和第二端的軸，以及被布置在軸的端中一個(gè)上的頭部。電極的頭部具有外部表面，該外部表面具有觸頭。外部涂層被布置在接觸區(qū)外的電極的外部表面上。根據(jù)mm3/N*m測(cè)量，外部涂層具有比鎳更大的耐磨性。

專(zhuān)利類(lèi)型：發(fā)明專(zhuān)利

專(zhuān)利號(hào)：CN201080052380.3

專(zhuān)利申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：赫姆洛克半導(dǎo)體公司

專(zhuān)利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：D·希拉布蘭德;K·麥科伊

主權(quán)項(xiàng)：一種用于在載體上沉積材料的制造裝置，該載體具有彼此間隔的第一端和第二端且?guī)в斜徊贾迷谒鲚d體的每個(gè)端的插座，所述裝置包括：外殼，其限定了腔室；入口，其被限定為穿過(guò)所述外殼，以用于將氣體引入所述腔室；出口，其被限定為穿過(guò)所述外殼，以用于將所述氣體從所述腔室排出；至少一個(gè)電極，其被布置穿過(guò)所述外殼且所述電極至少部分地被布置于所述腔室內(nèi)，以用于與所述插座耦合，所述電極包括：軸，其具有第一端和第二端；頭部，其被布置在所述軸的所述端之一上，其中所述電極的所述頭部具有外部表面，所述外部表面具有適于接觸所述插座的接觸區(qū)

專(zhuān)利地區(qū)：美國(guó)