腐蝕性氣、液用的隔膜式流量閥專利登記公告
專利名稱：腐蝕性氣、液用的隔膜式流量閥
摘要： 本實用新型為隔膜式流量閥，適合強腐蝕性流體使用，包括閥座、閥體、調節(jié)螺母、調節(jié)螺桿、隔膜及閥針、壓力彈簧、旋鈕等，特點是閥針與閥口為非剛性接觸，使閥針與閥口不易損壞且磨損后仍能保持密合；當管路中介質超壓時，介質沖開閥針泄壓，可做為安全閥使用，當管路方向接反時，隔膜連同閥針被沖開，不致因發(fā)生隔膜破壞而導致銹蝕閥內金屬零件影響介質純度和降低產品質量。該閥可廣泛用于制取半導體材料的外延爐管道系統(tǒng)中。
專利類型：實用新型專利
專利號：CN89216721.1
專利申請（專利權）人：陳棣
專利發(fā)明（設計）人：陳棣
主權項： 腐蝕性氣、液用的隔膜式流量閥，包括閥座２２、閥體２５、調節(jié)螺母２６、調節(jié)螺桿３３、隔膜２４、閥針２３、旋鈕２７，調節(jié)螺母２６和調節(jié)螺桿３３間為螺紋傳動，隔膜邊緣壓在閥體閥座之間，調節(jié)螺桿３３與閥體２５間有限定調節(jié)螺桿３３做直線運動的導向機構，其特征是： ?。保┱{節(jié)螺桿３３為有中心孔的零件，其內孔上部有彈簧頂絲３２、下部有彈簧導柱３７，在彈簧頂絲３２與彈簧導柱３７間有壓力彈簧３４，彈簧頂絲３２的外徑與調節(jié)螺桿３３內孔螺紋連接，彈簧導柱３７可在調節(jié)螺桿３３內孔中移動，彈簧導柱３７與隔膜２４連成整體，閥針２３
專利地區(qū)：北京
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