腐蝕性流體用的管路系統(tǒng)專利登記公告
專利名稱：腐蝕性流體用的管路系統(tǒng)
摘要： 本實用新型為制取半導(dǎo)體材料的外延爐的管道系統(tǒng)，主要包括閥、閥座、管道系統(tǒng)中各種流體的容器等，其特點是所有閥門都安裝在一個共同的閥座上，閥座內(nèi)有若干孔，連成管路系統(tǒng)所要求的通路。該種管路系統(tǒng)的優(yōu)點是接口少，泄漏少，維修容易，安裝簡便，占用面積小，結(jié)構(gòu)緊湊，外形美觀，減少操作人員吸入有害氣體，有利于人身健康，采用聚四氟乙烯材料制成閥座和閥的零件，有利于保持流體純度和保證產(chǎn)品質(zhì)量。
專利類型：實用新型專利
專利號：CN89216720.3
專利申請（專利權(quán)）人：陳棣
專利發(fā)明（設(shè)計）人：陳棣
主權(quán)項： 一種腐蝕性流體用的管路系統(tǒng)，包括管路系統(tǒng)中所含各種規(guī)格類型的閥，閥座，管路系統(tǒng)中各種流體的容器及其它零部件，其特征是管路系統(tǒng)中所有閥門都安裝在一個閥座上，閥座內(nèi)有若干孔，按管路系統(tǒng)的要求連成通路。
專利地區(qū)：北京
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