微機化干涉掃描微位移測量儀專利登記公告
專利名稱：微機化干涉掃描微位移測量儀
摘要： 一種微機化干涉掃描微位移測量儀器，屬于長度計量技術領域。本實用新型根據(jù)掃描干涉儀原理，采用三光束射入單一的法布里·白洛干涉儀，分別判別位移的方向、整數(shù)和小數(shù)，使測量量程提高了一倍。同時采用了壓電掃描非線性補償裝置，光準直系統(tǒng)，光導纖維，斜光束干涉聚光鏡，微膨脹合金結構和微機提高了精度和測量自動化。本實用新型可使量程達１００微米，精度達０．００５微米，可用于塊規(guī)檢定，物理量測試，地震研究及同步輻射實驗。
專利類型：實用新型專利
專利號：CN89206552.4
專利申請（專利權）人：中國科學技術大學
專利發(fā)明（設計）人：錢石南; 馮煥清; 張志萍; 黃文浩; 施周宏; 闞婭
主權項： 一種微機化干涉掃描微位移測量儀，它由機械系統(tǒng)、光電系統(tǒng)、測量顯示系統(tǒng)組成，其中： ?。ǎ保C械系統(tǒng)有平行彈簧導軌（１５），中心測桿（１６）?！ 。ǎ玻┕怆娤到y(tǒng)有激光器（１），壓電陶瓷（９），法布里·白洛干涉儀（１０，１１）?！ 。ǎ常y量顯示系統(tǒng)有放大器（２１），接口（２２）。 其特征在于：來自激光器（１）的光束經(jīng)過光準直系統(tǒng)、分光偏角系統(tǒng)后進入法布里·白洛干涉儀（１０，１１），然后該光束穿過聚光鏡（１３），射到反射鏡（１４）上；壓電陶瓷（９）與干涉儀的上腔片（１０）相連，由壓電掃描非線性補償裝置驅動
專利地區(qū)：安徽
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