加熱器專利登記公告
專利名稱：加熱器
摘要：本發(fā)明公開了一種用于超臨界流體精密清洗的加熱器，該加熱器包括加熱盤、加熱元件和均熱板，其中：加熱盤，采用石英材料制備；均熱板，采用石英材料制備，位于加熱盤的上方，加熱盤和均熱板固定連接，加熱盤和均熱板之間形成空腔；加熱元件，設(shè)置于加熱盤和均熱板之間的空腔內(nèi)。本發(fā)明加熱器中，由于石英材料穩(wěn)定的構(gòu)成及其物理性質(zhì)，保證了待加熱襯底和加熱元件的可靠隔離，從而避免了在襯底中引入污染。
專利類型：發(fā)明專利
專利號：CN201110064381.6
專利申請（專利權(quán)）人：中國科學(xué)院微電子研究所
專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：郭新賀;景玉鵬
主權(quán)項(xiàng)：一種加熱器，其特征在于，該加熱器包括加熱盤、加熱元件和均熱板，其中：所述加熱盤，采用石英材料制備；所述均熱板，采用石英材料制備，位于所述加熱盤的上方，所述加熱盤和所述均熱板固定連接，所述加熱盤和所述均熱板之間形成空腔；所述加熱元件，設(shè)置于所述加熱盤和所述均熱板之間的空腔內(nèi)。
專利地區(qū)：北京
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