耐老化特性優(yōu)良的振子用電極材料及使用該材料的壓電振子、以及由該材料構(gòu)成的濺射靶材專利登記公告

專利名稱：耐老化特性優(yōu)良的振子用電極材料及使用該材料的壓電振子、以及由該材料構(gòu)成的濺射靶材

摘要：本發(fā)明提供能夠使振子的制造時不均性及耐老化性比Au良好、成本比Au低的電極材料。本發(fā)明為振子用電極材料，其由Au和兩種金屬M(fèi)1、M2形成的三元類合金構(gòu)成，用作在壓電片中激發(fā)振動的激勵電極，其中上述兩種金屬M(fèi)1、M2為以下金屬：(a)金屬M(fèi)1：壓電振子的頻率經(jīng)時特性(Δf1/f1)相對于基準(zhǔn)值f1有減小的傾向的金屬；(b)金屬M(fèi)2：壓電振子的頻率經(jīng)時特性(Δf1/f1)相對于基準(zhǔn)值f1有增加的傾向的金屬。優(yōu)選金屬M(fèi)1為Ag、Al、Ni，金屬M(fèi)2為Pd、Ru、Pt、Ir、Rh、Cu。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080059290.7

專利申請（專利權(quán)）人：日本電波工業(yè)株式會社;田中貴金屬工業(yè)株式會社

專利發(fā)明（設(shè)計）人：小柏俊典;栗田昌昭;照井貴志;寒江威元;赤根克典;岡本謙藏;上木健一;武田翔平

主權(quán)項：一種振子用電極材料，其由Au和兩種金屬M(fèi)1、M2形成的三元類合金構(gòu)成，用作在壓電片中激發(fā)振動的激勵電極，其特征在于，所述兩種金屬M(fèi)1、M2為具有下述特性的金屬；(a)金屬M(fèi)1：壓電振子的頻率經(jīng)時特性(Δf1/f1)相對于基準(zhǔn)值f1有減小的傾向的金屬；(b)金屬M(fèi)2：壓電振子的頻率經(jīng)時特性(Δf1/f1)相對于基準(zhǔn)值f1有增加的傾向的金屬；其中，基準(zhǔn)值f1為密閉封裝時的振動頻率，Δf1為經(jīng)過時間后的振動頻率與基準(zhǔn)值f1的差頻。

專利地區(qū)：日本