固定研磨粒線鋸用水溶性切割液、使用其的鑄錠切割方法、其回收方法及切割所得的晶圓專利登記公告

專利名稱：固定研磨粒線鋸用水溶性切割液、使用其的鑄錠切割方法、其回收方法及切割所得的晶圓

摘要：本發(fā)明提供了一種切割性能高，可抑制因硅與水反應而產(chǎn)生氫氣的固定研磨粒線鋸用水溶性切割液、使用其的鑄錠切割方法、其回收方法及切割所得的晶圓。該固定研磨粒線鋸用水溶性切割液的特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量為100～300的低分子量二醇醚的至少1種、以及(c)水，(a)與(b)之比為1∶99～50∶50，(c)的含量為5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1(1)其中，R1表示氫原子或碳數(shù)為1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene?gro

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080051078.6

專利申請（專利權）人：帕萊斯化學株式會社

專利發(fā)明（設計）人：吉田種二郎;鈴木清史

主權項：一種固定研磨粒線鋸用水溶性切割液，其特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量為100～300的低分子量二醇醚的至少一種、以及(c)水；(a)與(b)之比為1∶99～50∶50，(c)的含量為5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1?????????????????????(1)其中，R1表示氫原子或碳數(shù)為1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene?group)，AO表示碳數(shù)為3～4的氧伸烷基(oxyalkylene?group)，m及n分別表示

專利地區(qū)：日本