低溫泵及真空排氣方法專利登記公告

專利名稱：低溫泵及真空排氣方法

摘要：本發(fā)明提供一種低溫泵及真空排氣方法。本發(fā)明的低溫泵（10）具備：第1低溫板，具備具有屏蔽件開口（20）的放射屏蔽件（18）和配置于屏蔽件開口（20）的百葉窗（23）；第2低溫板（24），被第1低溫板包圍；及制冷機(jī)（14），將第1低溫板冷卻至第1冷卻溫度，并將第2低溫板冷卻至低于第1冷卻溫度的第2冷卻溫度。百葉窗（23）上形成有粗糙面（42）。

專利類型：發(fā)明專利

專利號(hào)：CN201080050597.0

專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社

專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：田中秀和

主權(quán)項(xiàng)：一種低溫泵，其特征在于，具備：第1低溫板，具備具有開口部的放射屏蔽件和配置于所述開口部的擋板；第2低溫板，被所述第1低溫板包圍；及制冷機(jī)，將所述第1低溫板冷卻至第1冷卻溫度，并將所述第2低溫板冷卻至低于第1冷卻溫度的第2冷卻溫度，在所述擋板上形成有粗糙面。

專利地區(qū)：日本