用于氣體流量控制的方法和設(shè)備專利登記公告

專利名稱：用于氣體流量控制的方法和設(shè)備

摘要：一種用于氣體流量的自校準(zhǔn)控制的方法和設(shè)備。一開始通過將節(jié)流裝置的開放量控制到高精確度來設(shè)置氣體流率，其中包含節(jié)流裝置的設(shè)備設(shè)計使其能夠?qū)崿F(xiàn)高精確度。然后通過節(jié)流裝置上游的壓力下降速率來測量氣體流率，如果需要，調(diào)節(jié)節(jié)流裝置的開放量以獲得精確的期望流量。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201080046178.X

專利申請（專利權(quán)）人：關(guān)鍵系統(tǒng)公司

專利發(fā)明（設(shè)計）人：A·J·蒙科夫斯基;J·M·查默斯;陳嘉陵;丁韜;J·R·蒙科夫斯基

主權(quán)項：一種用于控制流體流量的設(shè)備，包括：具有節(jié)流表面的第一塊；具有互補節(jié)流表面的第二塊，其中所述節(jié)流表面和所述互補節(jié)流表面相互協(xié)作以形成節(jié)流閥；形成于所述第一塊或所述第二塊中并提供通往所述節(jié)流閥的流體通道的流體入口孔；形成于所述第一塊或所述第二塊中并提供通往所述節(jié)流閥的流體通道的流體出口孔；提供于所述節(jié)流閥周圍的密封件；并且其中通過所述第一塊或所述第二塊中的至少一個的彈性彎曲實現(xiàn)所述節(jié)流閥的開放量的改變。

專利地區(qū)：美國